| 工序 | 关键管理要点 |
|---|---|
| 干膜储存 | • 储存环境：室内、干燥、阴凉，避免阳光直射。 （记录温度和湿度数据。） • 建议条件：5–20°C，≤60% RH（20°C 时） • 储存时，干膜卷应水平放置。 • 干膜应在黄光或同等安全照明下使用。 |
| 贴膜 | • 操作环境：23 ± 2°C，60 ± 10% RH，洁净度 ≤10,000（洁净室） • 贴膜前基板表面温度：40–60°C • 贴膜辊温度：110 ± 10°C；辊压力：0.3–0.5 MPa • 贴膜速度：2–3 m/min • 贴膜辊更换频率：4 次/年。 （注意辊压力不均、橡胶老化、划伤、变形等情况。） • 使用压敏纸检查压力均匀性。 若压力不均，应立即更换辊。 • 每班清洁一次贴膜辊和切刀周围区域。 |
| 贴膜后管理 | • 静置时间：5 分钟–4 天（23 ± 2°C，黄光下） • 贴膜后，基板必须垂直放置。 |