การล้างฟิล์มแห้งคืออะไร?
การล้างฟิล์มจะขจัดส่วนที่ไม่ได้รับแสงของฟิล์มแห้ง และคงส่วนที่ได้รับแสงจนเกิดการเชื่อมขวางไว้ ทำให้ปรากฏลายวงจร
กลไกการล้างฟิล์ม
ส่วนที่ไม่ได้รับแสงมีหมู่ฟังก์ชันที่ทำปฏิกิริยากับสารละลายด่างอ่อน เอกสารฝึกอบรมอธิบายปฏิกิริยาที่เกี่ยวข้องกับหมู่คาร์บอกซิลและโซเดียมคาร์บอเนต ส่วนที่ได้รับแสงเกิดการเชื่อมขวางแล้ว จึงยังคงอยู่ระหว่างการล้าง
ค่าอ้างอิง
- น้ำยาล้างฟิล์ม: 0.8–1.2% Na₂CO₃·H₂O
- อุณหภูมิ: 28–32°C
- จุดล้างฟิล์ม: 45–65% ของความยาวห้องล้าง
- เวลา: 24–30 วินาที
- แรงดัน: 1.5–2.0 kg/cm²
- อุณหภูมิการอบแห้ง: 60–80°C
การควบคุมจุดล้างฟิล์ม
- ต่ำกว่า 45%: อาจเกิดการล้างมากเกินไป ซึ่งเพิ่มความเสี่ยงต่อการลอกและวงจรขาด
- สูงกว่า 65%: อาจเกิดการล้างไม่เพียงพอ ซึ่งเพิ่มความเสี่ยงต่อการลัดวงจร
สรุป
การล้างฟิล์มที่สม่ำเสมอต้องควบคุมสภาวะทางเคมีและค่ากระบวนการ ช่วงค่าอ้างอิงมาจากเอกสารฝึกอบรม และควรตรวจสอบให้เหมาะกับฟิล์มแห้งและอุปกรณ์ที่ใช้